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グラッシーカーボン・石英

グラッシーカーボン

パーティクルが少なく耐薬品性に優れた黒色ガラス状の炭素素材です。

特長

• 脱ガスフリー
• 優れた耐食性
• 気体不透過

用途

半導体装置用部材

石英

高透過性、耐熱性、高純度など多くの優れた特性をもつ素材です。

特長

• 高純度
• 光透過性に優れる
• 低熱膨張率

用途

半導体装置用部材、熱処理装置部材