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窒化ほう素・窒化アルミ

高熱伝導率、低熱膨張率など特色にあふれるセラミックス

窒化ほう素

特長

• 優れた耐熱衝撃性(T=1500℃)
• 溶融金属に濡れにくく侵されない。
• 高熱伝導率
• 化学的に安定しており、高温下で性能が落ちない。

用途

高温絶縁材、溶融金属処理治具、セッター

窒化アルミ

特長

• 高熱伝導率
• Siに近い熱膨張率
• 優れた耐フッ素プラズマ性

用途

半導体製造装置用部材、放熱板